專注半導(dǎo)體行業(yè)
的儀器制造商和服務(wù)商13584134215
EZ4-S參數(shù)
1.轉(zhuǎn)速范圍：100-9999RPM，轉(zhuǎn)速分辨率：1RPM
2.大單步步長(zhǎng)3000S，旋轉(zhuǎn)時(shí)間分辨率1S
3.加速度可控范圍：100-9999RPM/S
4.可處理碎片(小于1cm)至4英寸(100mm)圓晶底物
5.液晶文本顯示，可提供中英文操作界面，簡(jiǎn)單易用
6.快速運(yùn)行和程控運(yùn)行可選，多5組5步的程控操作模式
7.100W直流無(wú)刷電機(jī)，寬電壓適用：AC100-230V輸入
.標(biāo)配三種規(guī)格鋁合金真空載物盤（直徑10mm、25mm、55mm）
9.乳白色PP耐腐蝕外殼，耐腐蝕開(kāi)模內(nèi)腔
10.外型尺寸：210(W)*265(D)*213(H)
聯(lián)系人：陸燕
地址：江蘇江陰金山路201號(hào)創(chuàng)智產(chǎn)業(yè)園A座五樓南
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